精密镜面磨削技术的发展
发布时间:2016-08-11
近年来,国外对精密磨削和精密研磨技术的研究开发获得了不少成果和进展。日本国家理化学研究所的大森整教授研制成功了在线修整砂轮的ELID镜面磨削新工艺,可以对多种不同材料(如钢、硬质合金、陶瓷、光学玻璃、硅片等)零件的平面、外圆和内孔进行镜面磨削。ELID镜面磨削使用特制的铁基结合剂细粒度金刚石(或CBN)砂轮,在磨削时在线对砂轮进行电解修整,电解修整砂轮用的电解液同时用作磨削液(要求这种电解液不腐蚀机床)。用ELID镜面磨削新工艺磨出的不同试件(光学玻璃平面、硅片平面和陶瓷内孔)的磨削表面粗糙度可以达到镜面水平(Ra=0.02~0.01μm)。ELID精密镜面磨削工艺具有极好的生产应用前景。现在我国哈尔滨工业大学已研究并掌握了这项精密磨削新工艺。