随着纳米技术的迅速发展和应用范围日趋广泛，微型机械、微机电系统技术以及相应的精密微细加工、微型零件及微机械精密制造技术亦获得了快速发展。为了制造微型零件和微机械，精微机械加工发展迅速，现己达到较高水平。精微电火花加工、精微超声振动加工、精微准分子激光加工、精微塑性成型加工等均已用于加工精度达微米级尺度的微小机构零件。此外，还发展了不少专用的新工艺，如立体光刻技术、LIGA技术、牺牲层工艺等。并已开发了微型机械的自动装配技术和微型机械制造厂等。下面只简要介绍精密微细机械加工技术的最新进展。